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ASML ha escuchado las críticas del sector y está trabajando en mejorar la tecnología EUV Low-NA para satisfacer las necesidades de las empresas. Se están desarrollando nuevos iluminadores para aumentar el coeficiente K1 y mejorar la eficiencia de los escáneres actuales.
Samsung muestra preocupación por los altos costes, el peso y el tamaño de los nuevos escáneres EUV High-NA. Seog Kang de Samsung afirma que los escáneres actuales son suficientes para la memoria y se muestra reticente a invertir en los nuevos modelos.
Intel se muestra entusiasmada con los nuevos escáneres EUV High-NA y está trabajando en máscaras de cambio de fase para mejorar los escáneres existentes. La compañía también ha adquirido herramientas de Applied Materials para reducir el número de pasos en el grabado de chips con doble patrón en EUV, lo que le otorga una ventaja estratégica frente a la competencia.